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MMAS-25半导体明暗场微分干涉金相显微镜分析系统

分类Category:金相显微镜

产品介绍
MMAS-25半导体硅晶片倒置微分干涉金相显微镜分析系统采用优良的无限远光学系统,可提供出色的光学性能。紧凑稳定的高刚性主体,充分体现了显微操作的防振要求。模块化的功能设计,可以方便升级系统,实现偏振观察、暗视场观察、明视场微分干涉观察等功能。照明系统充分考虑散热性与安全性,可快速更换灯泡。符合人机工程学要求的理想设计,使操作更方便舒适,空间更广阔。可用于半导体硅晶片、LCD基板、固体粉未及其它工业试样的显微观察,是材料学、精密电子工程学等领域研究的理想仪器。

技术参数

型号 MMAS-25
名称 金相显微镜分析系统(微分干涉)
目镜 大视野无色差SWF10X(视场数Φ22mm)
无限远长距平场消色差物镜(配明暗场微分干涉物镜) LMPlan5X/0.12 BDDIC,工作距离:7.9mm
LMPlan10X/0.3 BDDIC,工作距离:6.03mm
LMPlan20X/0.4 BDDIC,工作距离:1.4mm
PLL50X/0.70BD,工作距离:2.5mm
目镜筒 三目镜45度倾斜(瞳距调节53~75),后置式摄影接口
落射照明 12V/50W 卤素灯,亮度可调
内置视场光栏、孔径光栏、(黄、蓝、绿、磨砂玻璃)滤色片转换装置、推拉式起偏器
调焦机构 粗微动同轴调焦,带粗动手轮松紧度调整装置,微动格值:2μm
转换器 五孔(内向式滚珠内定位)
载物台 机械式载物台外形尺寸:242mmX200mm;移动范围:横向30mm,纵向:30mm
圆形可旋转载物台板:最大外径Ф130mm,最小通光口径小于Ф20mm
DIC插板 适用于LMPlan5X、10X、20XBD DIC物镜

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