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MMAS-23集成电路无限远微分干涉金相显微镜分析系统

分类Category:金相显微镜

产品介绍
MMAS-23集成电路微分干涉DIC金相显微镜分析系统适用于对工件表面的组织结构与几何形态进行显微观察。采用优良的无限远光学系统与模块化功能设计理念,可以方便升级系统,实现偏光观察,DIC观察等功能,导柱升降装置,可以快速调整工作台与物镜之间的距离,适用于不同厚度工件检测。机械移动式载物平台有效定位工件观察部位。调焦机构采用圆柱滚子导向传动,机构升降平稳。产品适用于精密零件,集成电路,包装材料等产品检测。 MMAS-23系统配备了研润自主研发的MMAS测量分析系统以及MOS高端光学系统。

技术参数

型号 MMAS-23
名称 金相显微镜分析系统(微分干涉)
目镜 大视野WF10X(视场数Φ22mm)
明场物镜 LMPlan5X/0.12DIC,工作距离:15mm
LMPlan10X/0.3DIC,工作距离:10.5mm
LMPlan20X/0.40DIC,工作距离:4.47mm
无限远平场消色差PLL50X/0.70,工作距离:3.68mm
目镜筒 三目镜30度倾斜(瞳距调节53~75)
落射照明 12V/50W 卤素灯,亮度可调
内置视场光栏、孔径光栏、(黄、蓝、绿、磨砂玻璃)滤色片转换装置、推拉式检偏器与起偏器
调焦机构 粗微动同轴调焦,带粗动手轮松紧度调整装置,微动格值:2μm
转换器 五孔(内向式滚珠内定位)
载物台 机械式载物台外形尺寸:185mmX140mm
移动范围:横向35mm、纵向30mm
DIC插板 适用于LMPlan5X/LMPlan10X/LMPlan20DIC物镜

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